Ceramic vacuum plate

                Porous2.JPG
               

     ( 용 도 ) 

        ■ 박막 Wafer 흡착 공정.

        ■ 스크린 인쇄의 Vacuum plate

        ■ 각종 정밀 부품의 흡착 가공 및 흡착 반송.


 

   ( 표준사양 )

형 상

   흡착부 Size

 기공Size

  기공율

 평면도

 평행도

원형

Ø 100 x 15t

60um

33~35%

5um

10um

Ø 175 x 15t

Ø 230 x 15t

Ø 330 x 15t

정사각형

직사각형

100 x 100 x 15t

200 x 200 x 15t

300 x 300 x 15t